人民日報北京1月19日電 （記者谷業(yè)凱）記者從中核集團(tuán)獲悉：近日，由中國原子能科學(xué)研究院自主研制的我國首臺串列型高能氫離子注入機成功出束，核心指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。這標(biāo)志著我國已全面掌握串列型高能氫離子注入機的全鏈路研發(fā)技術(shù)，攻克了功率半導(dǎo)體制造鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為推動高端制造裝備自主可控、保障產(chǎn)業(yè)鏈安全奠定堅實基礎(chǔ)。
離子注入機是半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備，尤其是高能氫離子注入機研發(fā)難度大、技術(shù)壁壘高，我國長期依賴進(jìn)口。原子能院依托在核物理加速器領(lǐng)域數(shù)十年的深厚積累，以串列加速器技術(shù)作為主要手段，破解一系列難題，完全掌握了串列型高能氫離子注入機從底層原理到整機集成的正向設(shè)計能力，打破了國外企業(yè)在該領(lǐng)域的技術(shù)封鎖和長期壟斷。此次高能氫離子注入機的成功研制，是核技術(shù)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合的重要成果，將有力提升我國在功率半導(dǎo)體等關(guān)鍵領(lǐng)域的自主保障能力。
《 人民日報 》（ 2026年01月20日 11 版）
（責(zé)任編輯：蔡文斌）
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